Croissance epitaxiale par ablation laser de niobate de lithium sur saphir <001> : structure cristalline et proprietes optiques

par PASCAL AUBERT

Thèse de doctorat en Sciences appliquées. Physique

Sous la direction de J. SIEJKA.

Soutenue en 1996

à Paris 6 .

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  • Résumé

    Le developpement rapide des telecommunications et des technologies d'enregistrement font que l'optique integree est en pleine evolution. Actuellement, de nombreux dispositifs sont elabores sur le niobate de lithium massif. Cependant, les couches minces offrent l'avantage d'un confinement optique de meilleure qualite pour le doublage de frequence et une miniaturisation des composants. Dans ce travail, nous avons determine les conditions de croissance permettant d'elaborer du niobate de lithium en couche mince, dont les proprietes structurales et optiques sont optimales pour la realisation de guide d'onde. La temperature du substrat et la pression d'oxygene se sont averees les parametres les plus influents sur la croissance. Par la suite, l'epitaxie sur saphir (001) a ete demontree par diffraction de rayons x. Les relations suivantes ont ete etablies: (001) linbo#3 // (001) al#2o#3 100 linbo#3 // 100 al#2o#3 cette technique a mis en evidence la croissance de grains desorientes a 60. Elle a permis aussi d'etudier l'evolution de la contrainte thermique avec l'epaisseur dde la couche mince, etude associee a la spectroscopie de retrodiffusion rutherford. Pour les couches obtenues dans les conditions optimales, la rugosite r#r#m#s de surface, mesuree par microscopie a force atomique, est egale a 1 nm. Les guides planaires ainsi realises ont de faibles pertes optiques, de l'ordre de 1 db par cm pour les modes fondamentaux te et tm. Elles sont correlees a la rugosite de surface des films. Enfin les indices de refraction de ces couches minces ont ete mesures, ainsi que les pertes optiques, grace a une technique de couplage par prisme que nous avons developpee. Les indices de refraction sont proches a ceux du materiau massif


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Informations

  • Détails : 197 P.
  • Annexes : 155 REF.

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  • Bibliothèque : Université de Limoges. Ecole nationale supérieure d'ingénieurs de Limoges. Bibliothèque.
  • Disponible pour le PEB
  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : PMC RT P6 1996
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