Conception et étude d'un ellipsomètre spectroscopique à analyseur tournant : Comparaison avec un ellipsomètre spectroscopique à modulation de phase : Applications à la microélectronique

par Marie-Laure Hidalgo

Thèse de doctorat en Électronique, optronique et systèmes

Sous la direction de C. LLINARES.

Soutenue en 1996

à Montpellier 2.


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  • Résumé

    L'ellipsometrie spectroscopique est une technique de caracterisation optique non destructive qui tire ses informations de la mesure du changement de l'etat de polarisation de la lumiere apres reflexion sur le systeme a analyser. Pour etudier ce changement, nous disposions d'un ellipsometre spectroscopique a modulation de phase mais nous avons opte pour la realisation d'un ellipsometre spectroscopique a analyseur tournant. Plus simple de mise en uvre, il a permis d'etendre la gamme spectrale de l'ultra-violet-visible au proche infra-rouge et surtout de s'affranchir de la presence du modulateur photoelastique. A partir de l'analyse des spectres de la fonction dielectrique complexe dans le domaine de longueurs d'onde etudie et du coefficient d'absorption pour des energies voisines et superieures au gap, ce travail a permis de montrer que l'ellipsometrie spectroscopique est bien adaptee a la determination des transitions optiques interbandes des materiaux. Cette technique est egalement bien adaptee a la caracterisation de la qualite des oxydes, propriete importante en microelectronique notamment pour la realisation de composants a structure metal-oxyde-semi conducteur

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  • Détails : 129 p
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  • Cote : TS 96.MON-172

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