Cinétiques réactionnelles de radicaux carbonés en décharge et post-décharge microonde ; applications à la cémentation d'aciers et au dépôt de couches carbone dur

par Milton José Cinelli

Thèse de doctorat en Chimie, Chimie physique. Matériaux

Sous la direction de Alain Catherinot.

Soutenue en 1996

à Limoges , en partenariat avec Université de Limoges. Faculté des sciences et techniques (autre partenaire) .


  • Résumé

    Ce travail concerne l'etude de la cinetique reactionnelle des radicaux carbones crees par un plasma microonde (2. 45 ghz) dans divers melanges (ar-ch#4-n#2-h#2) et de leurs interactions avec des surfaces solides. Il se divise en 4 chapitres : le premier chapitre est consacre a la description de l'ensemble des dispositifs experimentaux et des techniques utilises lors de l'analyse du plasma. Le dispositif de realisation de traitements de surfaces par le carbone est egalement presente. L'etude fondamental du plasma microonde n#2-ch#4 fait l'objet du second chapitre. Nous montrons que l'espece la plus reactive dans la post-decharge est vraisemblablement l'azote moleculaire vibrationnellement excite. Dans le troisieme chapitre, nous caracterisons le jet de plasma en expansion en utilisant un systeme de sondes electrostatiques (simples et doubles) correle a des mesures par spectroscopie d'emission. Les resultats nous permettent d'etablir les regimes et la stabilite de fonctionnement de la decharge pour les differents melanges gazeux. Enfin, dans le dernier chapitre, nous utilisons les sources d'especes carbonees creees pour etudier les phenomenes qui gouvernent le transfert de carbone a la surface des aciers et les premieres etapes de croissance de couches minces de diamant sur un substrat modele de silicium, dans l'optique de realiser ces memes couches sur des aciers.


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Informations

  • Détails : 239 p

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  • Bibliothèque : Université de Limoges (Section Sciences et Techniques). Service Commun de la documentation.
  • Disponible pour le PEB
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