Elaboration et caractérisation des couches minces SnO2(Cu,Ni) pour la détection gazeuse

par Marina Roumiantseva Babakina

Thèse de doctorat en Énergétique physique

Sous la direction de Michel Labeau.

Soutenue en 1996

à Grenoble INPG .


  • Résumé

    Des couches minces de dioxyde d'etain (sno#2) pures et dopees (cu, ni) ont ete elaborees par le procede pyrosol sur des substrats de silicium oxyde en utilisant la pyrolyse d'un aerosol genere par ultrasons. Une etude systematique a permis de determiner l'influence des conditions d'elaboration sur la composition et la microstructure des couches. L'influence du cu et du ni sur les proprietes electriques de sno#2 a ete etudiee dans la gamme de temperature 77-773 k. Une concentration de cu de 1. 2-1. 5 at% et une concentration de ni de 0. 4-0. 6 at% conduisent a une augmentation de la resistance de h#2s d'un facteur 10#3. Les proprietes electriques des couches obtenues ont ete etudiees en regime stationnaire et en regime dynamique en fonction de la concentration des dopants et de la temperature en presence des melanges gazeux: 100-1200 ppm de h#2s dans l'azote, 300 ppm de co dans l'air et 80 ppm de c#2h#5oh dans l'air. Le dopage par le cu et par le ni augmente la sensibilite de sno#2 a h#2s d'un facteur 10#-#2-10#-#3. Contrairement au cas du cuivre, le nickel augmente la sensibilite de sno#2 en presence de co et de c#2h#5oh. Un modele d'interaction des couches sno#2(cu) et sno#2(ni) avec h#2s et l'oxygene de l'atmosphere est propose. Ce modele est base sur les reactions chimiques qui modifient l'etat des dopants dans sno#2 en fonction de la composition de la phase gazeuse

  • Titre traduit

    Elaboration and characterisation of sno#2(cu, ni) thin films for gas detection


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  • Détails : 1 vol. (86 p.)
  • Annexes : 47 REF.

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