Etude par diffraction de rayons x d'heterostructures epitaxiees a base des semi-conducteurs ii-vi cdte et znte

par NATHALIE BOUCHET-BOUDET

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Serge Tatarenko.

Soutenue en 1996

à Grenoble 1 .

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  • Résumé

    Ce memoire traite de la caracterisation structurale par diffraction et reflectivite de rayons x d'heterostructures de semi-conducteurs ii-vi cdte et znte. Ce sont des heterostructures a fort desaccord parametrique, elaborees par epitaxie par jets moleculaires. Ce travail s'articule autour de deux themes: la caracterisation de reseaux de fils quantiques de znte, elabores par croissance par avancee de marche sur une surface vicinale de cdte (001), et l'etude des correlations verticales dans des superreseaux cd#0#. #8zn#0#. #2te/cdte et des superreseaux d'insertions fractionnaires de znte dans cdte. La croissance de systemes organises est un sujet tres actuel ; on espere ainsi elaborer des superreseaux de boites quantiques dans lesquelles les boites (ou les fils) presentent non seulement un ordre lateral, mais aussi un ordre vertical. L'insertion d'un plan fractionnaire de znte dans une matrice de cdte peut etre detectee en reflectivite de rayons x. La deformation parallele a l'axe de croissance, induite par le znte, est deduite du traitement de la reflectivite par un modele cinematique. La mesure de la periodicite laterale des fils deposes sur une surface vicinale est un sujet nouveau et tres delicat. Des mesures effectuees sur un echantillon desoriente de 1 et contenant un superreseau vertical ont donne la preuve de l'existence d'une periode laterale. Les longueurs de correlation dans le plan et hors du plan d'un superreseau de 2 couches de cd#0#. #8zn#0#. #2te et cdte de meme epaisseur sont deduites des mesures d'intensite diffuse en incidence rasante. Les calculs d'intensite diffuse sont faits dans l'approximation de born dite d'onde distordue. On montre enfin que des correlations verticales existent dans des superreseaux de boites et qu'il est possible de les mesurer en diffraction autour des pics de bragg. La correlation verticale est deux fois plus etendue dans un echantillon vicinal que dans un echantillon nominal


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  • Détails : 168 P.
  • Annexes : 74 REF.

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