Coevaporation avec masquage mecanique de znse et de laf3 pour la realisation de couches minces a profil d'indice continus periodiques

par YANN ROUXEL

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de F. STOECKEL.

Soutenue en 1996

à l'Université Joseph Fourier (Grenoble) .


  • Résumé

    Dans une etude theorique des structures a profil d'indice continu, il est montre que l'essentiel des proprietes spectrales des filtres a profil d'indice sinusoidal peut etre etudie de maniere analytique a partir de certaines proprietes de l'equation de mathieu. L'etude experimentale de ces structures a ete realisee a l'aide d'une technique de coevaporation par masquage mecanique. L'equipement de depot realisant la coevaporation a ete developpe pour permettre la realisation de couches sur substrat chaud pour des profils d'indice quelconques. Un systeme de mesure optique multispectral in-situ en reflectivite a egalement ete mis au point. Les proprietes des couches minces de melanges de znse et de laf3 ont ete etudiees pour toute la gamme de composition. Un schema d'evolution de la structure cristalline et de la porosite des couches en fonction de leur composition est propose. Les contraintes qui s'y developpent sont aussi analysees ainsi que leur evolution en fonction de l'environnement. L'etude des proprietes optiques a permis de definir les lois de melange ainsi que de mettre en evidence l'existence d'une birefringence evoluant avec la composition des melanges. Enfin, plusieurs types de structures periodiques ont ete realisees, comportant jusqu'a 20 periodes pour une epaisseur superieure a 5m. Les resultats ont permis de montrer que la modulation par masquage mecanique est une technique fiable et precise et que c'est le choix du couple de materiaux qui va conditionner la precision du controle du profil d'indice

  • Titre traduit

    Mechanically modulated coevaporation of znse and laf3 for the realization of thin films with periodic continuous index profilas


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Informations

  • Détails : 266 P.
  • Annexes : 83 REF.

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