Etude de la realisation d'un depot de carbone amorphe adamantin nitrure, stable et adherent

par STEPHANE NEUVILLE

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de J. PERRIN.

Soutenue en 1996

à l'EP .

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  • Résumé

    Les limites de l'utilisation pratique des depots pecvd de carbone amorphe hydrogene adamantin sont attribuees pour l'essentiel aux defauts d'adherence, et a l'insuffisance de leur durete et de leur stabilite thermique. L'hydrogene a ete identifie comme en etant la principale cause. En ajoutant du diborane au niveau du pour cent dans le plasma, on ne change pas la teneur en hydrogene ni la structure de ces depots, mais on constate un effet catalytique mis en evidence par l'accroissement de la vitesse du depot et la reduction des contraintes. L'addition suffisante d'azote, n'affecte pas beaucoup la teneur en hydrogene, mais augmente les contraintes et graphitise le depot. En revanche l'association du bore et de l'azote atomique augmente dans les depots le nombre des sites tetraedriques et les dehydrogene. Ces effets combines avec un bombardement ionique realise a travers une gaine de plasma non collisionelle et optimise avec une autopolarisation adequate, augmentent considerablement la durete et la stabilite thermique grace a l'azote en position de substitution incorpore. En developpant la theorie du test de la rayure, il fut possible de determiner et d'optimiser les parametres de l'adherence pratique. Les revetements ainsi obtenus permettent d'envisager de nouvelles applications


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  • Détails : 284 P.
  • Annexes : 250 REF.

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