Dispositifs multi-capteurs sélectifs au méthane, réalisés en technologie microélectronique hybride couches épaisses

par Hélène Debeda

Thèse de doctorat en Électronique

Sous la direction de F. MENIL.

Soutenue en 1996

à Bordeaux 1 .

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  • Résumé

    Cinq dispositifs multi-capteurs, bases sur des capteurs a oxyde semiconducteur et/ou des capteurs catalytiques ont ete concus en technologie micro-electronique hybride couches epaisses pour la detection selective de methane en milieu domestique. Pour resoudre le probleme de selectivite inherent a ces capteurs, nous nous sommes inspires d'un concept base sur la difference d'activite catalytique entre le palladium et la platine, vis a vis de la combustion du methane. L'evaluation, puis l'optimisation de la fiabilite des dispositifs en collaboration avec gaz de france a conduit a la realisation de prototypes incluant l'electronique de commande

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  • Détails : 221 p

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  • Cote : FT 96.B-1420
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