Methodes d'interferometrie et de microscopie confocale en lumiere polychromatique appliquees a la profilometrie optique

par Hervé Perrin

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de G. TRIBILLON.

Soutenue en 1996

à Besançon .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Cette these est consacree a l'etude de deux methodes d'interferometrie et d'une methode de microscopie confocale, en lumiere polychromatique, appliquees a la profilometrie optique. La premiere methode associe un interferometre et un systeme dispersif. On dispose ainsi pour chaque point objet de plusieurs canaux quasi-monochromatiques, qui traitent en parallele l'information et contribuent a obtenir une meilleure precision (10#-#7 pour la mesure d'indice par exemple). Dans la deuxieme methode, appelee double modulation spectrale d'intensite et de frequence, un codage chromatique d'une dimension laterale d'un objet a ete realise. Sa mise en uvre a conduit a un systeme de microscopie interferentielle applique a l'etude de surfaces. Ce systeme est adapte a la transmission d'un interferogramme bidimensionnel a travers un support monodimensionnel constitue d'une nappe de fibres optiques. Pour le calcul de la phase, des methodes adaptees ont ete developpees. La troisieme methode s'inspire de la microscopie confocale. On remplace le deplacement suivant l'axe optique de l'echantillon ou de la sonde en realisant un codage chromatique des hauteurs suivant cet axe par le biais d'une lentille de fresnel diffractante. La lecture des hauteurs se fait en traduisant la dispersion axiale en dispersion laterale a l'aide d'un reseau


  • Pas de résumé disponible.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 138 P.
  • Annexes : 60 REF.

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Bibliothèque universitaire Sciences - Sport (Besançon).
  • Disponible pour le PEB
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.