Miniaturisation des actionneurs piezoelectriques a ondes progressives

par Jean-François Manceau

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de François Bastien.

Soutenue en 1996

à Besançon .

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Résumé

Parmi toutes les possibilites de micro-actionneurs piezoelectriques notre choix a porte sur les actionneurs a ondes progressives. Dans l'etude proposee, on s'interessera a une partie des problemes lies a la conception des micromoteurs piezoelectriques a ondes progressives dont le diametre est de l'ordre du mm. Une methode d'evaluation des stators de ces actionneurs a ete developpee. Plusieurs techniques de fabrication permettant la realisation d'un actionneur de dimensions laterales millimetriques sont presentees. Une autre partie de cette etude est relative a la generation d'une onde progressive dans une structure issue des techniques d'usinage du silicium. La possibilite de generer des ondes quasi progressives dans une membrane de silicium est demontree. Un prototype d'actionneur lineaire original a ondes quasi progressives a ete experimente. Un travail connexe porte sur les possibilites d'utiliser les copolymeres piezoelectriques p(vdf-trfe), il montre les proprietes electrostrictives interessantes de ces copolymeres

Titre traduit

Miniaturisation of ultrasonic travelling wave type actuators

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