Commande adaptative multivariable : application a un procede de traitement thermique rapide

par SIMON JOSE MORALES MAGO

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de B. DAHHOU.

Soutenue en 1995

à Toulouse 3 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Cette these concerne l'etude, le developpement et la mise en uvre des lois de commande adaptatives multivariable et leur application aux procedes de traitement thermique rapide. Les techniques de traitement thermique rapide constituent les methodes les plus en pointe pour les procedes thermiques lies a la fabrication des circuits integres. La qualite du produit depend de deux facteurs: le suivi correct des profils de temperature imposes et l'homogeneite thermique de la plaquette traitee. Une solution est apportee par l'utilisation de lois de commande multivariable dans un environnement adaptatif. Dans ce travail, sont traites, differents types de lois de commande predictives et les aspects numeriques de leur mise en uvre. L'identification parametrique de systemes variant dans le temps est egalement abordee. Ces schemas de commande adaptative indirecte ont necessite l'elaboration d'un certain nombre d'ingredients pour assurer le bon fonctionnement de l'ensemble commande-estimation. Cet ensemble d'ingredients constitue une supervision de la loi de commande adaptative. Les resultats experimentaux presentes dans ce travail, montrent que l'utilisation des techniques de commande adaptative multivariable apporte une solution aux problemes de la commande de la temperature des procedes thermiques rapides. Ils ouvrent une nouvelle perspective pour la resolution de ces problemes


  • Pas de résumé disponible.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 184 P.
  • Annexes : 83 REF.

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Moyens Informatiques et Multimédia. Information.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : G.3-MOR
  • Bibliothèque : Université Paul Sabatier. Bibliothèque universitaire de sciences.
  • Accessible pour le PEB
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.