Analyse chimique de surfaces par spectrometrie d'ionisation resonante associee a la pulverisation ionique

par Philippe Kern

Thèse de doctorat en Chimie

Sous la direction de R. STUCK.

Soutenue en 1995

à Strasbourg 1 .

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  • Résumé

    Une methode d'analyse chimique des materiaux semi-conducteurs et des couches minces destines a la fabrication de composants electroniques ou optoelectroniques a ete developpee. Cette technique qui fait appel a la spectrometrie de masse par ionisation resonante a permis non seulement de lever certaines ambiguites de l'analyse classique en masse des ions secondaires, mais permet surtout une approche plus quantitative des mesures


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Informations

  • Détails : 130 P.
  • Annexes : 84 REF.

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