Caracterisation d'une decharge microonde de grand diametre

par ERIC BLUEM

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Jean Marec.

Soutenue en 1995

à Paris 11 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Le sujet de ce memoire porte a la fois sur la propagation d'onde et la caracterisation experimentale d'un plasma microonde, exicte a 2450 mhz, de grand diametre 120 mm. Les gaz utilises sont l'argon et l'oxygene avec des pressions de l'ordre du torr. Le chapitre i est consacre a un rappel des resultats remarquables concernant les decharges en ondes de surface de plus petit diametre etudiees jusqu'ici (propagation des ondes, maintien de la decharge, densite electronique et caracteristiques de la decharge). Les chapitres suivants sont consacres a l'etude du plasma microonde de grand diametre. Apres avoir detaille la resolution de l'equation de dispersion des differents modes pouvant se propager dans une structure cylindrique a 3 milieux, nous presentons le montage experimental, les conditions d'etudes, puis les differents diagnostics non intrusifs utilises antenne electrique, boucle magnetique, banc interferometrique, spectroscopie d'emission pour caracteriser au mieux la decharge dans les trois directions: longitudinale, radiale et azimutale. Nous effectuons alors un bilan des differents resultats obtenus dans la decharge. Pour des puissances microondes de l'ordre de 1 kw, les longueurs de plasma s'etalent de 15 cm en oxygene pur a 1. 3 m en argon pur. Les densites electroniques sont de l'ordre de 10#1#2 cm#-#3. D'apres l'etude theorique, l'entretien de la decharge est effectue par un ou plusieurs modes plasma. Des mesures longitudinales qui presentent des modulations, il ressort un phenomene de battement d'ondes du a une propagation multimode de la decharge. Seule la presence du mode plasma majoritaire, le mode hexapolaire, est alors clairement mise en evidence par les mesures azimutales et les etats excites refletent directement la configuration du champ electromagnetique. Par contre, les densites d'oxygene atomique neutre de la decharge, de l'ordre de 1%, ont un profil homogene dans les 3 directions spatiales

  • Titre traduit

    Characterisation of a large diameter microwave discharge


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  • Détails : 284 P.
  • Annexes : 92 REF.

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