Modelisation de la production du rayonnement x caracteristique par impact electronique dans les solides ; application a la nanoanalyse quantitative dans les multi-materiaux

par PIERRE-FRANCOIS STAUB

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de C. BONNELLE.

Soutenue en 1995

à Paris 6 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Ce travail concerne l'elaboration et la validation d'un modele analytique semiempirique destine a simuler l'intensite du rayonnement x caracteristique emis par un echantillon solide quelconque (4z9), sous irradiation par un faisceau d'electrons d'energie e#o comprise entre 0. 5 et 100 kev. Le modele, baptise intrix, est constitue d'une part a partir de grandeurs empiriques decrivant l'interaction electrons-matiere (transmission, retrodiffusion, distributions energetique et angulaire des electrons) et d'autre part a partir de la section efficace d'electro-ionisation en couche interne des atomes emetteurs. Une expression analytique est obtenue, qui decrit la distribution en profondeur du rayonnement x genere dans l'echantillon. Il est montre comment intrix peut etre utilise pour deduire des informations quantitatives sur un echantillon inconnu (epaisseur, composition), a partir de mesures de l'intensite x caracteristique qu'il emet. La validite de intrix est verifiee dans le domaine classique de la microsonde electronique (5e#o0 kev), a l'aide de comparaisons entre des resultats experimentaux ou theoriques tires de la litterature et ceux obtenus avec ce modele. D'autres experiences sont ensuite menees, en utilisant cette fois des energies moindres (e#o kev), qui permettent de conclure a l'applicabilite d'intrix pour l'etude quantitative d'echantillons homogenes, heterogenes ou stratifies, a l'echelle nanometrique


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Informations

  • Détails : 255 P.
  • Annexes : 163 REF.

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : PMC RT P6 1995
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