Dépôt par activation plasma de matériaux diélectriques sur substrat semi-conducteur pour les nouvelles technologies submicroniques : Optimisation d'un réacteur industriel

par Marie Anne Guillebot de Nerville

Thèse de doctorat en Électronique, optronique et systèmes

Sous la direction de Georges Bougnot.

Soutenue en 1995

à Montpellier 2 .

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Informations

  • Détails : 166 f.
  • Notes : Confidentialité levée le 15 mai 2005
  • Annexes : Bibliogr. f. 154-166

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  • Bibliothèque : Université de Limoges. Ecole nationale supérieure d'ingénieurs de Limoges. Bibliothèque.
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  • Bibliothèque : Bibliothèque interuniversitaire. Section Sciences.
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  • Cote : TS 95.MON-49
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