Microscopie à saut de phase : défauts dans les emiconducteurs et les couches transparentes

par Driss Benhaddou

Thèse de doctorat en Électronique, optronique et systèmes

Sous la direction de Jean-Pierre Fillard.

Soutenue en 1995

à Montpellier 2 .


  • Résumé

    La caracterisation topographique de surfaces est un moyen de verifier la qualite des surfaces sur lesquelles l'implantation des dispositifs sera realisee. L'etude des diverses categories de defauts des semiconducteurs et des materiaux optoelectroniques conduit au developpement de nombreuses methodes d'investigation. La microscopie a saut de phase (msp) est une nouvelle technique optique, non destructive, qui permet d'obtenir le relief des surfaces. Son principe, base sur l'utilisation des images interferometriques (interferogrammes) en lumiere quasi-monochromatique, donne une resolution verticale a l'echelle nanometrique. L'image representant le relief d'une surface est realisee a partir des interferogrammes grace aux methodes de traitements numeriques d'images. Derivee de la msp, la microscopie a glissement de frange (mgf) est basee sur l'interferometrie en lumiere blanche. Ce manuscrit est subdivise en cinq chapitres. Le premier expose tout d'abord l'ensemble des techniques de topographie existant actuellement. Les notions de base de la msp sont presentees ainsi que les developpements qui ont conduit a la realisation d'un outil de msp et mgf. L'etude se poursuit par la calibration du systeme piezoelectrique qui permet le deplacement vertical de l'echantillon, et j'aborde egalement l'etude des techniques menant a la reduction du bruit superpose sur l'image. La msp est alors appliquee sur les couches minces, les substrats attaques chimiquement et les guides optiques plans afin d'illustrer l'interet et la puissance de cet outil. La mgf a ete appliquee a la mesure des epaisseurs des couches transparentes

  • Titre traduit

    Phase stepping microscopy: defects in semiconductors and transparent layers


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Informations

  • Détails : 155 p
  • Annexes : Bibliogr.: p. 147-155. - Liste des publ. de l'auteur "in fine

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