Etude des effets d'implantation de protons dans le niobate de lithium : application à la réalisation des guides d'ondes optiques

par Sidi Ould Salem

Thèse de doctorat en Sciences. Physique

Sous la direction de Paul Moretti.

Soutenue en 1995

à Lyon 1 .

Le jury était composé de Paul Moretti.


  • Résumé

    L'implantation de protons a des energies de l'ordre du mev, permet de realiser des guides optiques dans le niobate de lithium (linbo#3). Les effets d'endommagement nucleaire du reseau cristallin induits par l'implantation de protons dans linbo#3 ont ete etudies en fonction de plusieurs parametres d'implantation (energie, dose, et duree de recuit post-implantation) par la spectroscopie de retrodiffusion de rutherford en geometrie de canalisation (rbs-c). Une analyse de la section efficace de decanalisation en fonction de l'energie des ions he#+ d'analyse a permis de determiner la nature physique des defauts majoritairement presents dans le reseau. Dans le contexte du modele de quere, il a ete montre que les defauts induits sont de type ponctuel, ce qui a ete confirme par des observations de microscopie electronique. La caracterisation optique des defauts par spectroscopie d'absorption dans le visible, et par transformee de fourrier inverse dans l'infrarouge, a permis de discuter les effets chimiques de l'implantation, lies a la presence des ions h#+. Des guides optiques planaires ont ete realises et leurs proprietes optogeometriques (profil des indices de refraction, epaisseur du guide) caracterisees par spectroscopie de modes. Leur stabilite thermique a ete etudiee et le resultat tres satisfaisant obtenu reconforte l'interet technologique de la realisation de guides d'ondes optiques par implantation de protons. Les coefficients electrooptiques des guides implantes h#+ ont ete mesures, et aucune degradation significative en fonction de la dose implantee n'a ete observee

  • Titre traduit

    Effects of protons implantation in lithium niobate application to optical waveguides elaboration


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  • Détails : 1 vol. (230 p.)
  • Annexes : Bibliogr. pagination multiple [13] p.

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  • Cote : 1995LYO10156
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