Modélisation des mécanismes de transport de la vapeur métallique dans les techniques de dépôt physique en phase vapeur

par Agnès Malaurie

Thèse de doctorat en Matériaux céramiques et traitements de surface

Sous la direction de Jean Machet.


  • Pas de résumé disponible.


  • Résumé

    L'etude theorique et appliquee des mecanismes de transport des atomes metalliques mis en phase vapeur dans les methodes de depot physique en phase vapeur (p. V. D. ) fait l'objet de ce travail. Une premiere etude a ete realisee dans le cas de l'evaporation sous vide. Dans ce cas, les atomes emis suivent une trajectoire rectiligne sans subir de collision, et l'etude des phenomenes de transport porte principalement sur les conditions d'emission des atomes. Pour cela, l'influence, de la deformation de la source et de la fonction de distribution spatiale, sur les repartitions en epaisseur, a ete etudiee. L'hypothese de l'existence d'une zone de pression elevee au voisinage de la source permet d'expliquer la deformation des repartitions en epaisseurs experimentales. L'existence d'une telle zone semble etre confirmee par le calcul des pressions au-dessus de la source. La deuxieme partie de ce memoire porte sur la modelisation du transfert des atomes pulverises en pulverisation cathodique magnetron. Dans ce cas, les atomes metalliques subissent des collisions avec les atomes du gaz support de la decharge electrique. Les trajectoires des atomes sont alors simulees par les methodes de monte carlo et une comparaison entre des repartitions en epaisseur theoriques et experimentales permet de valider le modele dans le cas de la pulverisation des metaux purs. Ce modele est ensuite utilise pour determiner les fonctions de repartition en energie et les angles d'incidence des atomes metalliques lorsqu'ils arrivent sur le depot en croissance. Ce modele a egalement ete applique aux cas de depots d'alliages metalliques binaires (aluminium-titane) et de depots de nitrure de titane (tin). L'evolution des rapports atomiques al/ti d'une part et n/ti d'autre part a ete etudiee pour differentes conditions de depot

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 186 p

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université de Limoges (Section Sciences et Techniques). Service Commun de la documentation.
  • Disponible pour le PEB
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.