Influence de la chimie des précurseurs sur la morphologie et les caractéristiques électriques et optiques de films à base de dioxyde d'étain déposés par le procédé pyrosol

par Jean-Marc Laurent

Thèse de doctorat en Matériaux céramiques et traitements de surface

Sous la direction de Jean-François Baumard.

Soutenue en 1995

à Limoges , en partenariat avec Université de Limoges. Faculté des sciences et techniques (autre partenaire) .


  • Résumé

    Le travail presente concerne l'elaboration de films minces a base d'oxyde d'etain, sno#2, et en particulier la relation qui peut exister entre la chimie des precurseurs et la morphologie des films, aussi bien d'un point de vue aspect de surface qu'orientation cristallographique preferentielle. La methode de depot utilisee est le pyrosol ou le precurseur du materiau a deposer est d'abord dissous dans un solvant approprie (un alcool ou une dicetone), nebulise puis pyrolyse dans la zone de depot. Selon le type de precurseur utilise (sel mineral ou sel organometallique), des films a morphologie variable, facettes ou non facettes, avec differentes orientations preferentielles ont ete obtenus. A partir d'une methode de caracterisation originale des solutions sources par des mesures d'impedance complexe, il a ete possible de mettre en evidence que les precurseurs participant au depot etaient des molecules neutres ou complexes formees entre le sel d'etain et le solvant. Par ailleurs, en utilisant des modeles geometriques de croissance cristalline, la nature des faces cristallines presentes a la surface du depot a pu etre identifiee et les orientations cristallographiques preferentielles ont pu etre interpretees. Les faces des cristallites sont du type 101 et 111 et les orientations preferentielles resultantes sont (110) et (200) respectivement. Le developpement, au cours de la croissance cristalline, et perpendiculairement au substrat, de macles caracteristiques de sno#2, a savoir la macle en genou dans le plan (101) et la macle papillon dans le plan (301), doit egalement etre pris en consideration pour interpreter l'existence des orientations preferentielles (211), (301) et (101) respectivement. Les caracteristiques electriques et optiques des films correspondants sont egalement presentees

  • Titre traduit

    Influence of the precursor chemistry on the morphology and the electrical and optical properties of tin dioxide based thin films deposited by the pyrosol process


  • Pas de résumé disponible.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 149 p

Où se trouve cette thèse\u00a0?

  • Bibliothèque : Université de Limoges (Section Sciences et Techniques). Service Commun de la documentation.
  • Disponible pour le PEB
  • Bibliothèque : Université de Limoges. Service Commun de la Documentation. Bibliothèque Universitaire de l'ENSIL-ENSCI.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 85 LAU
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.