Etude des transferts de matiere et d'energie dans un reacteur de depot par pulverisation cathodique et caracterisation des couches de carbone obtenues

par Eric Mounier

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Y. PAULEAU.

Soutenue en 1995

à l'INP GRENOBLE .

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  • Résumé

    Dans ce travail, les flux et les energies des differentes particules arrivant a la surface des couches de carbone elaborees dans un reacteur de depot equipe d'une cathode magnetron ont ete mesures en fonction des parametres de depot (pression, puissance de pulverisation). Les modifications de la cible magnetron necessaires pour augmenter le flux d'ions argon qui bombardent la couche et les differents types de sondes utilisees pour la mesure des courants ioniques et des parametres du plasma sont presentes. Des correlations ont pu etre etablies entre les caracteristiques des couches de carbone (composition chimique, microstructure, densite, contraintes residuelles, morphologie et indice optique) et les valeurs de flux et d'energie des differentes especes arrivant sur la surface des couches en cours de croissance. Des mesures ellipsometriques ont montre qu'il est possible d'avoir rapidement acces a la masse volumique des couches deposees par pulverisation magnetron. L'etat des contraintes dans les couches, resultant des effets du bombardement par des particules energetiques, a ete analyse a partir des modeles de windischmann et de davis. Les essais tribologiques effectues sur ces couches dans differentes conditions ont permis de mesurer les coefficients de frottement et les taux d'usure des couches de carbone elaborees. Les mecanismes de frottement et d'usure ont ete determines en fonction des caracteristiques des couches


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Informations

  • Détails : 203 P.
  • Annexes : 157 REF.

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