Contribution a l'etude de la croissance de monocristaux de carbure de silicium par la methode de lely modifiee

par ISABELLE GARCON

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de R. MADAR.

Soutenue en 1995

à Grenoble INPG .

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  • Résumé

    L'etude de la croissance de monocristaux de carbure de silicium de structure cristallographique hexagonale 6h par la methode de lely modifiee fait l'objet de ce memoire. L'obtention de monocristaux de carbure de silicium de bonne qualite est un facteur limitant pour le developpement de ce materiau ainsi que des materiaux tels que gan ou aln, dans le secteur de la microelectronique. Apres une description des varietes cristallines du sic, le reacteur experimental mis en place est presente. Les etapes d'elaboration des monocristaux ainsi que les sequences de croissance developpees sont detaillees. Les cristaux obtenus sont etudies en fonction de leurs conditions de croissance afin de degager les parametres importants du systeme. Une fois ces parametres identifies, leurs influences sur la qualite du cristal, sa nature et sur la vitesse de depot sont analysees. Les techniques mises en uvre pour caracteriser les echantillons obtenus sont par ailleurs decrites. Outre ce travail experimental, nous avons tente de simuler les differents phenomenes physiques intervenant lors de la croissance de monocristaux de carbure de silicium dans notre reacteur afin d'ameliorer la comprehension du systeme. Pour cela, nous avons d'une part calcule les equilibres thermodynamiques, d'autre part etudie les transferts thermiques et le transport de masse dans le creuset. Ce travail de simulation, deja utilise dans les procedes de depot chimique en phase gazeuse, est applique pour la premiere fois au transport physique en phase gazeuse

  • Titre traduit

    Contribution to the study of silicon carbide single crystal growth using the modified lely method


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Informations

  • Détails : 235 P.
  • Annexes : 139 REF.

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