Caracterisation de la contamination metallique dans le silicium par des methodes de duree de vie. Application au cas du fer dans le silicium de type p

par Dieter Walz

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de G. KAHARINOS.

Soutenue en 1995

à Grenoble INPG .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    La caracterisation de la micro contamination metallique dans le silicium par des methodes de duree de vie joue un role de plus en plus important. Dans cette etude nous comparons differentes techniques de mesure de duree de vie (spv, sca-spv, -pcd, elymat et duree de vie de generation dans une structure mos). Nous avons entrepris une analyse critique des modeles utilises pour l'exploitation des mesures et nous avons compare ensuite les sensibilites et les valeurs de duree de vie obtenues par chaque technique en utilisant des echantillons de silicium type p contamines volontairement avec du fer. Parmi ces methodes nous avons choisi la technique elymat pour une analyse approfondie en simulation numerique apres avoir etudie le comportement photovoltaique de ce systeme. Cette analyse inclut des effets non lineaires comme la recombinaison shockley read hall en fonction du niveau d'injection et la diffusion ambipolaire due au couplage entre les electrons et les trous par le champ de dember en trois dimensions. Suite a cette analyse numerique non lineaire et en utilisant une passivation de la recombinaison de surface par un oxyde thermique nous avons etudie les proprietes de recombinaison du fer dans du silicium type p pour des dopages moderes. Le comportement de recombinaison du fer dans ce materiau a pu etre completement decrit en utilisant le niveau profond a e#c-0,29 ev comme unique centre de recombinaison. Nous avons extrait de notre modele les sections de capture des electrons et des trous pour ce centre de recombinaison

  • Titre traduit

    Characterisation of metallic contamination in silicon by lifetime methods. Application to iron in p-type silicon


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Informations

  • Détails : 204 P.
  • Annexes : 121 REF.

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