Etude du piegeage de composes chlores et/ou fluores en c1 et en c2. Reactivite de ces produits dans l'atmosphere

par PASCAL KALUZNY

Thèse de doctorat en Terre, océan, espace

Sous la direction de F. PANAYOTIS.

Soutenue en 1995

à Grenoble 1 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Ce travail est consacre aux composes chlores et/ou fluores en c1 et en c2. Une de leurs sources a ete consideree: les effluents gazeux utilises dans l'industrie de la microelectronique pour les gravures assistees par plasma et les depots. Nous avons cherche a caracteriser les composes presents dans les salles de travail et a l'interieur des machines. Deux aspects ont ete ensuite abordes. Le premier concerne le piegeage des effluents en sortie de machines. Nos etudes ont porte sur l'adsorption de composes comme c2hc13, ch2c12, cf4, chf3 et c2f6, largement repandus dans l'industrie de la microelectronique, sur divers supports solides (chaux sodee, charbon actif, carbosieve siii et carbosphere). Les resultats obtenus ont confirme la difficulte du piegeage des cov fluores. Le second aspect considere qu'une fraction de ces polluants est emise dans l'atmosphere. Aux reactivites directes habituellement etudiees, nous avons prefere nous interesser aux phenomenes d'interactions entre les composes chlores et differents systemes du type agresseur/polluants tropospheriques. Il est alors apparu que pour certains systemes, la presence du trichloroethene pouvait influencer les quantites d'ozone produit et de composes carbonyles formes. Par ailleurs les produits de degradation du c2hc13 pouvaient engendrer des radicaux c1 capables de reagir avec les autres polluants presents. Ainsi, nous constatons que meme si les radicaux oh jouent un role capital dans la chimie de l'atmosphere, il ne faut pas negliger celui des radicaux c1 dont les constantes cinetiques de reaction sont superieures a celles des radicaux oh pour un compose donne

  • Titre traduit

    Study of c1 and c2 chlorinated and/or fluorinated compound epuration. Reactivity of these compounds in the atmosphere


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Informations

  • Détails : 278 P.
  • Annexes : 156 REF.

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