Caracterisation de reacteurs a plasma basse pression. Etude de la cinetique des ions par fluorescence laser

par FRANCK CHATAIN

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de J. DEROUARD.

Soutenue en 1995

à Grenoble 1 .

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  • Résumé

    Les traitements de materiaux par plasma sont actuellement largement utilises dans la plupart des industries bien que les processus physiques qui regissent ces decharges ne soient pas totalement maitrises. Avec l'essor de nouvelles sources optiques, le diagnostic de fluorescence laser, non perturbatif vis a vis du milieu, associe aux diagnostics electriques, permet la caracterisation de sources a plasma basse pression. Grace a cet outil, on peut ainsi comprendre la cinetique des ions (production, excitation, diffusion) et mesurer les parametres critiques influant sur la qualite du traitement (flux, directionalite, fonction de distribution en energie des particules bombardant la surface, temperature du substrat)


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  • Détails : 170 P.
  • Annexes : 88 REF.

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