Modélisation et caractérisation d'un plasma microonde

par Virginie Viel

Thèse de doctorat en Physique des plasmas

Sous la direction de Jacques Bernard.

Soutenue en 1995

à Toulouse, ENSAE .

  • Titre traduit

    Modelisation and characterisation of a microwave plasma


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  • Résumé

    L'objet de ce travail réside dans l'étude d'un plasma froid, créé par microondes et destiné à la gravure ou au dépôts de matériaux. Le plasma étant créé par rayonnement microondes, la modélisation du réacteur est obtenue à partir de la résolution des équations de Maxwell dans un milieu ionisé. Le calcul de la densité dérive de la résolution des équations de transport du plasma. Une méthode de perturbation permet de tenir compte de l'influence du champ électrique sur le coefficient d'ionisation. La partie expérimentale est consacrée aux caractérisations du plasma par sonde de Langmuir et à la caractérisation des champs électriques par une antenne. Un bon accord est obtenu entre la théorie et les résultats expérimentaux, et cette thèse met à la disposition d'utilisateurs potentiels, un moyen de simulation puissant.

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Informations

  • Détails : 1 vol. (149 p.)
  • Annexes : Bibliogr. 33 ref.

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Institut Supérieur de l'Aéronautique et de l'Espace. Service documentation.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 1995/167 VIE
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