Etude de l'influence du substrat sur la formation de films de diamant : application au développement de couches minces de nitrure de bore cubique

par Dominique Michau

Thèse de doctorat en Physique. Chimie du solide. Sciences des matériaux

Sous la direction de Bernard Tanguy.

Soutenue en 1995

à Bordeaux 1 .

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  • Résumé

    En utilisant une demarche de type chimie du solide, le role des principaux facteurs caracterisant la surface du substrat (composition chimique, structure et liaisons chimiques) sur la germination de cristallites de diamant, ainsi que leur morphologie, a ete mis en evidence. La densite de nucleation et le rapport csp#2/csp#3 ont pu notamment etre correles a la diffusion du carbone dans le substrat. Afin de controler celle-ci, des couches superficielles de composes covalents tels que les nitrures et les borures ont ete utilisees. Elles ont permis d'atteindre des densites tres importantes de nuclei de diamant pour des temps de depot relativement courts. L'ensemble des resultats concernant le depot par heteroepitaxie du diamant a permis de proposer une methodologie au niveau du choix du substrat et des especes reactives pour l'obtention de couches minces de nitrure de bore cubique

  • Titre traduit

    Study of the role of the substrate on the diamond nucleation and application to the development of cubic boron nitride thin films


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  • Détails : 199 p.

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  • Bibliothèque : Université de Bordeaux. Direction de la Documentation. Bibliothèque Sciences et Techniques.
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  • Cote : FT 95.B-1198
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  • Cote : FTR 95.B-1198
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