Mise au point et applications d'un microscope optique en champ proche en reflexion (r-snom). Combinaison avec un microscope a force de cisaillement

par OLIVIER BERGOSSI

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de M. SPAJER.

Soutenue en 1995

à Besançon .

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  • Résumé

    Un prototype de microscope optique en champ proche (snom) fonctionnant en reflexion a ete mis en uvre. L'eclairage et la frustration du champ proche s'effectue au moyen d'une meme sonde dielectrique (nano-antenne). Cette sonde est obtenue soit par etirage d'une fibre optique, echauffee localement au moyen d'un faisceau laser, soit par attaque chimique. Le balayage s'effectue soit a altitude constante par rapport au plan moyen de la surface de l'echantillon, soit a distance sonde-echantillon constante. Dans ce dernier cas, le suivi topographique est assure par un systeme de microscopie a forces de cisaillement combine au snom. Les images optiques presentent une resolution laterale de l'ordre de 200 nanometres en routine (soit un quart de la longueur d'onde du faisceau d'eclairage), avec la presence de details de dimension 70 a 100 nm de large. Apres la phase de developpement, une serie d'applications ont ete realisees, grace a des collaborations bilaterales. Notons en particulier la visualisation d'images latentes sur polymeres insoles, ainsi que la caracterisation d'une interface metal-semiconducteur (mesure de variations locales de la barriere schottky). Ces applications ont permis de prouver l'avantage que confere le microscope optique en champ proche vis-a-vis des autres microscopes a sonde locale, en ce sens qu'il est sensible aux proprietes optiques des materiaux (variations d'indice optique, spectroscopie optique,)


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Informations

  • Détails : 209 P.
  • Annexes : 105 REF.

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