TY  - THES
DP  - 
		http://www.theses.fr/1995BESA2026
TI  - Éléments sensibles piézo-résistifs sur substrats silicium d'orientation non conventionnelle : Optimisation de la détection piézo-résistive et réalisation de corps d'épreuve par attaque chimique anisotrope
AU  - Durand, Stéphane
A3  - Tellier, Colette
PY  - 1995
SP  - 1 vol (179 p.)
N1  - Thèse de doctorat Sciences pour l'ingénieur Besançon 1995
N1  - 1995BESA2026
ER  -