Ablation de NbTex par laser à exciplexes : application au dépôt de films minces

par Frédéric Grangeon

Thèse de doctorat en Rayonnement et plasmas

Sous la direction de M. AUTRIC.

Soutenue en 1995

à Aix-Marseille 1 .


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  • Résumé

    L'ablation par laser krf nm impulsionnel de cibles de tellurures de niobium est realisee dans le but de deposer des films minces de ces materiaux. L'ablation d'une cible nbte2 sous vide conduit au depot de films minces de conducteur monodimensionnel nb5te4. L'evolution de la composition et des parametres structuraux des films est etudiee en fonction de la fluence laser et de la temperature du substrat. Les phenomenes d'ablation sous vide sont etudies a l'aide d'un dispositif de spectroscopie optique de temps de vol. Nous avons etudie l'influence d'une atmosphere d'helium sur la composition des films et les processus d'ablation et de transport. Les resultats preliminaires concernant les depots obtenus par ablation sous vide d'une cible nbte4 sont presentes, ainsi que l'etude de l'ablation de ce compose. Enfin ; des resultats concernant l'utilisation d'un code numerique pour la simulation de l'ablation de niobium pur par laser a exciplexes sont presentes

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