Etude de circuits intégrés par contraste de potentiel : analyse des phénomènes de charge induits dans la couche de passivation

par Philippe Perdu

Thèse de doctorat en Électronique

Sous la direction de A. Martinez.

Soutenue en 1994

à Toulouse 3 .


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  • Résumé

    Nous utilisons le contraste de potentiel lors de l'analyse de defaillance de circuits integres. Ce contraste resulte de l'observation d'un circuit integre en fonctionnement dans un microscope electronique a balayage. Le releve de tensions continues est perturbe par l'accumulation de charges positives dans la couche de passivation des circuits integres. L'analyse de ce phenomene de charge, montre les limites du modele de la barriere de potentiel. Nous avons etabli un modele electrostatique base sur le calcul du champ electrique en tout point de l'isolant et de la chambre du microscope. Par ses effets sur la trajectoire des electrons secondaires, ce champ modifie le spectre et le taux de reemission. Les valeurs theoriques obtenues correspondent aux valeurs experimentales et montrent qu'un contraste de potentiel statique peut etre releve si la couche de passivation est recouverte d'une couche conductrice. Le sont des solutions possibles pour eliminer cette charge, nous pouvons graver la couche de passivation ou la couvrir d'une couche antistatique. La gravure seche, moins risquee que la gravure par voie humide, peut induire des derives parametriques, former des tranchees et graver des joints de grain. Le depot de liquide presente une faible reproductibilite, un effet limite dans le temps et une pollution du circuit. Les depots de carbone par evaporation sont reproductibles, uniformes et optimisables. Ils n'alterent ni le circuit ni son comportement electrique. Ils ne sont pas efficaces dans tous les cas. A l'aide de trois plans d'experiences, l'etude des consequences des techniques de preparation sur la sensibilite du composant a l'irradiation causee par le faisceau d'electrons primaires montre que les circuits graves sont les plus sensibles

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Informations

  • Détails : 245 f

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  • Bibliothèque : Université Paul Sabatier. Bibliothèque universitaire de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 1994TOU30160
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