Contribution a l'etude du comportement du fer et du cuivre dans le silicium monocristallin

par NASSIMA AMBROUN

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Paul Siffert.

Soutenue en 1994

à Strasbourg 1 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Les metaux de transition sont pour la plupart des diffuseurs tres rapides. Leur presence souvent incontrolee dans le silicium a suscite un interet croissant depuis de nombreuses annees. Dans notre travail, nous nous sommes particulierement interesses a deux impuretes, le fer et le cuivre. Le fer occupe dans le reseau du silicium un site interstitiel tetraedrique et diffuse par mecanisme interstitiel. Il introduit un niveau donneur dans la bande interdite a ev+0. 39ev et forme avec le dopant une paire fer-accepteur stable a temperature ambiante et electriquement active. Le cuivre, par contre, est instable en site interstitiel et ne donne pas de niveau dans le gap. Cependant, apres sa diffusion dans le silicium on observe une augmentation de la resistivite du materiau que l'on attribue a un complexe cuivre-accepteur. Pour la caracterisation des defauts, nous avons utilise la technique dlts (deep level transient spectroscopy) tres performante grace a sa limite de detection de l'ordre de 10#1#1 cm##3. Un des resultats essentiels a ete la determination de l'expression du coefficient de diffusion du fer a partir de mesures de cinetiques de dissociation-association et des profils correspondants. D'autre part, nous avons montre pour la premiere fois que le coefficient de diffusion du fer etait dependant de son etat de charge. Par ailleurs, les resultats obtenus avec le cuivre ont mis en evidence l'existence d'un defaut accepteur note centre m. Nous avons montre qu'il formait un complexe avec le cuivre et que cette reaction depend de la concentration des ions cuivre provenant de la dissociation des paires cuivre-dopant

  • Titre traduit

    Contribution to the study of the behaviour of iron and copper in cristalline silicon


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Informations

  • Détails : 65 P.
  • Annexes : 77 REF.

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  • Bibliothèque : Université de Strasbourg. Service commun de la documentation. Bibliothèque Centrale de Recherche.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 1994/AMR
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