Elaboration de couches minces de diamant par dépôt chimique en phase gazeuse assisté par plasma micro-onde : Application à la réalisation de membranes

par Eric Anger

Thèse de doctorat en Physique des matériaux

Sous la direction de Alix Gicquel.

Soutenue en 1994

à Paris 13 .


  • Résumé

    L'objectif de la thèse est la maitrise d'un réacteur de dépôt de films de diamant. Le travail a consisté à dégager les principaux paramètres contrôlant les caractéristiques des revêtements. L'étude expérimentale a été effectuée dans un réacteur de dépôt chimique en phase gazeuse assisté par plasma micro-onde. La spectroscopie de diffusion raman, la pesée et la microscopie électronique à balayage ont constitué les techniques systématiques d'analyse. La microscopie à force atomique, l'interférométrie fizeau, la spectroscopie de photoélectrons, des mesures de transparence, la spectroscopie d'annihilation de positions, la spectrométrie de rétrodiffusion de Rutherford et d'éjection de protons, la diffraction des rayons x et des mesures de diffusivité thermique par effet mirage ont été utilisées de façon plus ponctuelle. Une analyse préliminaire de la surface des échantillons monocristallins de silicium après activation de la germination par traitement mécanique a été réalisée. Elle a permis de mettre en évidence les principaux phénomènes responsables des densités de germination supérieures a 10e10 cm2. Une étude systématique de la densité de germination, de la vitesse de croissance, de la morphologie et de la qualité des dépôts en fonction des paramètres macroscopiques du réacteur a ensuite été entreprise. Ces paramètres sont la composition gazeuse, la température de dépôt, le couplage de la puissance micro-onde et de la pression (densité de puissance), le débit total et la durée de dépôt. L'étude a été complétée par une caractérisation structurale (porosité, rugosité, texture et contraintes internes) et chimique des couches minces de diamant qui a permis de définir les paramètres optimaux pour la réalisation de membranes de diamant. Les caractéristiques des membranes ont ensuite été optimisées pour être compatibles avec la réalisation de masques de lithographie par rayons X. La possibilité de réaliser des polariseurs pour lasers infrarouges de puissance à partir de ces membranes a également été établie.

  • Titre traduit

    Synthesis of diamond thin films by microwave plasma enhanced chemical vapour deposition. Application to the production of taut membranes


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Informations

  • Détails : 1 vol. (258 f.)
  • Annexes : Bibliogr. en fin de chapitres

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université Paris 13 (Villetaneuse, Seine-Saint-Denis). Bibliothèque universitaire. Section Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TH 1994 040
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