Etude de la cinetique d'une decharge electrique dans les melanges azote - oxygene

par JACIMAR NAHORNY

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de M. TOUZEAU.

Soutenue en 1994

à Paris 11 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Ce travail est consacre a l'etude et a la modelisation de la colonne positive d'une decharge luminescente en flux dans les melanges azote oxygene. Les conditions typiques de fonctionnement sont: courant de decharge i = 15 - 80 ma, pression 2. 0 torr, debit massique 100 sccm. Nous nous sommes plus particulierement interesses a etudier les processus conduisant a la production des principales especes actives: atomes d'oxygene et d'azote, molecules d'azote excitees sur des niveaux vibrationnels ainsi qu'a la formation des molecules d'oxyde d'azote. Dans ce but, nous avons utilise un ensemble de diagnostics: cavite hyperfrequence, sondes electrostatiques, spectroscopie d'emission, spectroscopie laser, spectrometrie de masse, qui nous ont permis de mesurer les parametres du plasma: densite electronique, temperature du gaz, temperature vibrationnelle des molecules d'azote, champ electrique reduit, ainsi que les concentrations des atomes d'azote et d'oxygene et des molecules no formees. L'ensemble de ces resultats a ete interprete a l'aide d'un modele cinetique qui decrit le plasma hors equilibre prenant en compte le couplage entre la distribution en energie des electrons et la cinetique des particules lourdes. Les resultats experimentaux et theoriques sont presentes en fonction de la composition du melange azote oxygene pour trois courants de decharge (15, 30 et 80 ma). Cette comparaison a permis de degager les principaux processus de creation et de perte de ces especes


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Informations

  • Détails : 166 P.
  • Annexes : 136 REF.

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  • Accessible pour le PEB
  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TH2014-011995
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