Mesure interferometrique directe de l'indice de refraction dans le domaine des rayons x mous

par JAN SVATOS

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de D. JOYEUX.

Soutenue en 1994

à Paris 11 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    L'objectif principal de ce travail est de demontrer que le progres des sources des rayons x rend possible des methodes de mesure faisant appel a la phase et pas seulement a l'intensite du champ, et que l'utilisation de la coherence spatiale permet d'envisager des techniques d'instrumentation nouvelles dans ce domaine des longueurs d'onde. Un interferometre a miroirs de fresnel a ete etudie et construit dans le but d'effectuer une mesure exacte de l'indice de refraction. Le principe de la methode consiste en la mesure d'un deplacement des franges d'interference periodiques, provoque par l'insertion d'un echantillon. Le fonctionnement de l'interferometre est demontre sur le seuil k du carbone (4. 4 nm) sur un echantillon en photoresist. Le deplacement des franges est mesure actuellement avec une precision de cinq pourcent de la periode, ce qui resulte en une determination de l'indice a dix pourcent pres. Un systeme de mesure en temps reel a ete developpe. Il permet de rendre les mesures plus exactes et rapides. L'avantage principal de la methode est que la mesure n'est pas perturbee par l'absorption. La plus grande difficulte reside dans la fabrication de l'echantillon, de la forme d'un rectangle de 1 par 5 mm au minimum et d'une epaisseur micrometrique. La mesure des structures fines de l'indice au voisinage du seuil est en perspective


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Informations

  • Détails : 134 P.
  • Annexes : 54 REF.

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  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TH2014-011994
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