Transistors a effet de champ a heterojonction a grille submicrometrique : modelisation des performances limites et comparaison avec les mesures

par KHALED YAZBEK

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de A. DELUSTRAC.

Soutenue en 1994

à Paris 11 .

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  • Résumé

    Afin d'etudier les performances des transistors hemts standard algaas/gaas et pseudomorphique algaas/ingaas/gaas a grille ultracourte, nous avons developpe des moyens logiciels permettant l'analyse rapide du comportement extrinseque et intrinseque du composant. Les elements extrinseques representes par les capacites electrostatiques ont ete evalues en utilisant une modelisation a elements finis permettant la prise en compte de la geometrie reelle du composant en deux dimensions. Les resultats confirme l'interet d'utiliser des structures avec double zone creusee a la surface pour ameliorer les performances microondes des transistors a grille ultracourtes. Une analyse detaillee de la commande des charges par la grille a l'equilibre a ete realisee pour les deux structures standard et pseudomorphique a l'aide d'un modele base sur la resolution autocoherente des equations de schrodinger et de poisson. Nous avons mis en evidence l'efficacite du dopage planaire a mieux confirmer les electrons dans le puits quantique et a ameliorer le controle des charges par la grille. La modelisation du comportement intrinseque du transistor est basee sur l'approche quasi-bidimensionnelle. Les comparaisons avec les simulations de monte carlo ont montre la possibilite d'evaluer certaines grandeurs physiques dans les hemts a grille ultracourte jusqu'a 0,1m avec cette approche q-2d. Certains effets de canal court ont ete illustres en analysant l'evolution de la densite surfacique et de la vitesse moyenne des electrons ainsi que les caracteristiques i-v. Les principaux elements du schema electrique equivalent petit signal sont ensuite determines par l'approche quasi-statique. Les resultats obtenus en fonction de la longueur de grille et des polarisations sont en bon accord avec les mesures


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Informations

  • Détails : 250 P.
  • Annexes : 166 REF.

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  • Bibliothèque : Université Paris-Sud (Orsay, Essonne). Service Commun de la Documentation. Section Sciences.
  • Accessible pour le PEB
  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TH2014-011810
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