Etude de la croissance de couches de carbone amorphe hydrogene

par JIRI SPOUSTA

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Jacques Perrière.

Soutenue en 1994

à Paris 7 .

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  • Résumé

    Les travaux rapportes dans ce memoire concernent l'etude de la croissance et des proprietes de films minces de carbone amorphe hydrogene, formes par depot assiste par plasma dans une decharge de type multipolaire. Nous decrivons d'abord le systeme plasma multipolaire utilise pour la croissance des films, ainsi que l'ensemble des techniques d'analyse nous ayant donne acces a la composition (microanalyses nucleaires) et aux proprietes physiques de ces films (absorption optique et infra rouge, effet raman, ellipsometrie). Le chapitre iii est consacre aux proprietes des films de carbone amorphe hydrogene que nous avons formes. En particulier, nous nous sommes interesses a la correlation entre concentration en hydrogene et proprietes physiques. Le chapitre iv est consacre a l'effet des ions durant la croissance. L'energie de ces ions a ete le parametre privilegie, mais la nature des ions ainsi que les differentes etapes de la croissance ont fait egalement l'objet d'etude. Les resultats de ces etudes ont ete comparees aux estimations des effets des ions deduits d'un programme de simulation. Dans le chapitre v, nous avons etudie des transformations des films de carbone amorphe. Ce compose est metastable et peut etre aisement modifie par un apport d'energie. C'est le cas lors de la croissance elle meme, mais ceci peut egalement etre envisage lors de traitements posterieurs au depot. L'effet d'irradiations par un laser pulse a donc ete etudie, et compare au cas plus classique de recuits thermiques rapides.

  • Titre traduit

    Study of growth mechanisms of amorphous hydrogenated carbon (a-c : h) films


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Informations

  • Détails : 125 P.
  • Notes : CONFIDENTIEL
  • Annexes : 93 REF.

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université Paris Diderot - Paris 7. Service commun de la documentation. Bibliothèque Universitaire des Grands Moulins.
  • PEB soumis à condition
  • Cote : TS (1994) 331
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