Synthese, caracterisation et etude de polyimides aromatiques, solubles, thermostables et photoreticulables en vue d'applications en microelectronique

par GERALDINE RAMES-LANGLADE

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de H. SEKIGUCHI.

Soutenue en 1994

à Paris 6 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    L'objectif de notre travail a consiste a preparer des polyimides susceptibles d'etre utilises en microelectronique comme resines negatives. A cet effet ils doivent etre solubles dans les solvants polaires, photosensibles et posseder une temperature de transition vitreuse elevee, une excellente stabilite thermique et une constante dielectrique faible. Nous avons choisi comme monomere principal le benzhydroltetracarboxylique dianhydride (bhtda) car il possede une fonction alcool solubilisante. Le groupement photosensible est une double liaison methacrylique fixe par une liaison carbamate obtenue par reaction de la fonction alcool avec l'isocyanate de methacryloyl (mai). Deux voies de synthese ont ete utilisees: soit on prepare le polyimide benzhydrol que l'on modifie par le mai, soit on prepare un derive photoreticulable du bhtda que l'on polycondense. L'etape d'imidation est realisee soit par voie thermique soit par voie chimique. Pour nous permettre d'une part de mettre au point les differentes reactions et d'autre part d'identifier les polymeres finaux, nous avons prepare dans un premier temps des molecules modeles diimide benzhydrol et diimide carbamate. Puis des polyimides ont ete synthetises en utilisant des diamines judicieusement choisies soit afin d'ameliorer la solubilite (diamines substituees par des groupes alkye), soit afin d'obtenir un polyimide autophotosensible (diamines capables de photoamorcer la polymerisation de la double liaison methacrylique). Les polymeres obtenus presentent les proprietes decrites ci-dessous


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Informations

  • Détails : 187 P.
  • Annexes : 80 REF.

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : PMC RT P6 1994
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