TY - THES DP - http://www.theses.fr/1994NANT2109 TI - Contribution a la modelisation electrique, magnetique et thermique d'un applicateur de plasma inductif haute frequence AU - CHENTOUF, ABDELLAH A3 - Fouladgar, Javad PY - 1994 SP - 186 P. N1 - Thèse de doctorat Physique Nantes 1994 N1 - 1994NANT2109 ER -