Contribution à la caractérisation de processus technologiques CMOS : étude de structures de test destinées à la mesure de capacités des composants élémentaires

par Abdelaziz Khalkhal

Thèse de doctorat en Électronique, optronique et systèmes

Sous la direction de P. GIRARD.

Soutenue en 1994

à Montpellier 2 .


  • Résumé

    Cette these presente une contribution a la caracterisation de processus technologiques. Notre travail a ete essentiellement axe sur la determination de capacites de composants elementaires en technologie cmos. Deux methodes d'evaluation ont ete mises au point, l'une statique et l'autre dynamique. La premiere est basee sur l'utilisation d'un element de reference pour determiner la capacite inconnue. Simple a mettre en uvre, cette methode a permis la caracterisation de composants de dimensions minimales. Des capacites dans la gamme du ff ont ete mesurees. Ces resultats ont permis d'etablir une carte modele capacitive pour des jonctions pn et de determiner les dimensions effectives de transistors. La deuxieme methode developpee permet de faire une evaluation en absolue de capacites constantes avec une bonne precision. Son principe est base sur l'etude de la reponse en courant d'une capacite a une rampe de tension. Elle est particulierement adaptee a la caracterisation des interconnexions

  • Titre traduit

    Contribution to the cmos technological process characterization: test structures for measurement of elementary device capacitances


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Informations

  • Détails : 145 f
  • Annexes : Bibliogr.: p. 120-122

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  • Cote : TS 94.MON-208

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  • PEB soumis à condition
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