Etude et réalisation par pulvérisation cathodique magnétron de dépots anticorrosion à base de chrome

par Françoise Cosset

Thèse de doctorat en Matériaux céramiques et traitements de surface

Sous la direction de Jean Machet.

Soutenue en 1994

à Limoges , en partenariat avec Université de Limoges. Faculté des sciences et techniques (autre partenaire) .


  • Résumé

    L'etude et la realisation par pulverisation cathodique magnetron de couches minces anti-corrosion a base de chrome font l'objet de ce travail. La resistance a la corrosion des couches mais aussi leur structure, leur texture, leurs proprietes mecaniques ont ete systematiquement determinees et correlees entre elles. L'evolution de ces proprietes a ete etudiee en fonction de la temperature du substrat et de la pression du gaz support de la decharge. Les depots de chrome pur presentent une porosite relativement importante et donc une resistance a la corrosion faible. Ceci est du principalement a la taille importante des grains (de l'ordre de 250 a 500 a) pour des temperatures de depots allant de 150 a 550 c. L'introduction d'une faible quantite d'azote pendant la phase depot permet de diminuer la taille des grains qui est de l'ordre de 50 a 300 a pour des concentrations en azote dans les depots allant de 3 a 12%. Ces depots dopes a l'azote presentent une resistance a la corrosion nettement superieure a celle des depots de chrome pur. Elle est maximale pour une temperature de 450c et une concentration en azote de l'ordre de 9%. L'influence de l'etat de surface des substrats sur la resistance a la corrosion des depots a ete etudiee. Les piqures prenant naissance principalement sur les irregularites de surface, pour obtenir une bonne resistance a la corrosion il faut donc un tres bon etat de surface avec une rugosite inferieure ou de l'ordre de 0,1 m. L'etude des mecanismes de pulverisation reactive dans le cas du couple chrome-azote a aussi fait l'objet d'un developpement important. Lors de la pulverisation du chrome en presence d'azote il n'y a pas de variations brutales des conditions de depot avec apparition d'un phenomene d'hysteresis comme par exemple dans le cas des depots de nitrure de titane

  • Titre traduit

    Study and realization of corrosion resistant chromium based coatings by cathodic magnetron sputtering


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Informations

  • Détails : 148 p
  • Annexes : Bibliogr.

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