Apport des sources liquide-métal Ga+ à l'émission par effet de champ en microélectronique polymère

par Thierry Trigaud

Thèse de doctorat en Électronique

Sous la direction de Jean-Pierre Moliton.

Soutenue en 1994

à Limoges , en partenariat avec Université de Limoges. Faculté des sciences et techniques (autre partenaire) .


  • Résumé

    A partir de considerations, numeriques et experimentales, nous avons montre que l'utilisation de forts debits de fluence en ions de moyenne energie dans les polymeres entraine la creation de defauts propices a une conduction de type p de valeur elevee. Des forts debits de fluence (10#1#7 ions/cm#2#. S) peuvent etre obtenus, a partir d'une source liquide-metal au gallium a faisceau focalise. Nous avons procede, a l'etude et a la fabrication de ces sources, ainsi qu'au calcul et a la realisation d'une optique ionique electrostatique. L'ensemble (source+optique) a ete couple a la colonne electronique d'un meb et une electronique de commande a ete mise au point. Finalement une etude comparative des effets du debit de fluence, entre irradiation sur accelerateur et par source d'ions liquide-metal, a ete menee. A fort debit de fluence des conductivites de 40 s/cm ont ete obtenues sur du polyimide, sans que le polymere ne soit endommage macroscopiquement de facon genante

  • Titre traduit

    Liquid-metal ions sources in polymers microelectronics


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  • PEB soumis à condition
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