Amelioration des contacts ohmiques serigraphies des cellules solaires en silicium multicristallin

par HAMID ELOMARI

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de A. LAUGIER.

Soutenue en 1994

à Villeurbanne, INSA .

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  • Résumé

    Dans le cadre du developpement des energies renouvelables, la conversion quantique du rayonnement solaire a atteint le niveau industriel. Les cadences de fabrication actuelles correspondent a une photopile de 0. 1 0. 1 m2 par seconde. Le but de ce travail a ete d'analyser et d'etudier les contacts ohmiques serigraphies point cles de la technologie du composant, et de definir une methode amelioree et industrialisable. L'analyse a ete effectuee par la methode tlm appliquee au silicium multicristallin. Les contacts ont ete etudies en fonction de diverses etapes de fabrication de la photopiles: les influences de la couche de dioxyde de silicium (couche de passivation) et de dioxyde de titane (couche antireflet) ont ete analysees. Les differentes etapes de traitements thermiques (cuisson et recuit) necessaires a la realisation des contacts ont ete etudiees, aussi bien en recuit classique qu'en recuit rapide isotherme. Dans ce dernier cas, l'influence du gaz ambiant et de la vitesse de refroidissement ont ete pris en compte. L'amelioration obtenue est spectaculaire pour le contact arriere traite a 850c, la resistivite de contact est divisee par 10 par rapport au processus standard lorsqu'il y a une couche de dioxyde de silicium et une couche de dioxyde de titane entre le substrat et le contact et encore divisee par 10 en l'absence de la couche de dioxyde de silicium


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Informations

  • Détails : 165 P.
  • Annexes : 91 REF.

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