Edmes : un systeme expert pour la gestion et la conception de plans d'experiences en micro-lithographie

par PIERRE FANTON

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de C. JUTTEN.

Soutenue en 1994

à l'INP GRENOBLE .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Ce travail a pour but de demontrer l'interet d'un systeme expert pour la gestion de plans d'experiences, en micro-lithographie, et de concevoir et realiser un tel systeme. Le premier chapitre presente la micro-lithographie en explicitant son role dans la fabrication des circuits integres, et sa sensibilite a un grand nombre de facteurs. Ce chapitre met en evidence la necessite d'un outil pour minimiser le cout de mise au point des nouveaux procedes. Cet outil s'appuie sur la technique des plans d'experiences. Les chapitres deux et trois sont consacres a la description de cette technique et font apparaitre le besoin d'un systeme informatique capable de gerer les plans d'experiences en micro-lithographie. Ce systeme comprend une base de donnees destinee a stocker les informations recueillies sur les procedes, un systeme expert qui aide l'utilisateur a generer et analyser un plan d'experiences, un logiciel d'analyse statistique, et une interface utilisateur. Les resultats des anciens plans sont reutilises par le systeme expert lors de la generation d'un nouveau plan. Une technique de modelisation alternative a la regression polynomiale utilisee habituellement en plans d'experiences est evaluee. Enfin, un algorithme original d'optimisation interactif est presente. Un chapitre de validation est consacre a l'etude du fonctionnement du systeme complet sur des cas reels. L'adaptation de ce systeme a un autre domaine, la micro-gravure, est discutee en conclusion


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Informations

  • Détails : 170 P.
  • Annexes : 55 REF.

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