TY  - THES
DP  - 
		http://www.theses.fr/1994INPG0116
TI  - Modélisation du procédé de dépot chimique à partir d'une phase gazeuse (CVD) : application au cas du dépot de silicium-germanium
AU  - Rouch, Hervé
A3  - Madar, Roland
PY  - 1994
SP  - 1 vol. (265 p.)
N1  - Thèse de doctorat Énergétique physique Grenoble INPG 1994
N1  - 1994INPG0116
ER  -