Dimerisation du silane sous decharge electrique silencieuse a temperature cryogenique

par VALERIE BORG-DEZANI

Thèse de doctorat en Chimie

Sous la direction de J.-L. GIROUX.

Soutenue en 1994

à l'INP GRENOBLE .

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  • Résumé

    Nous avons etudie la synthese de disilane a partir de monosilane dans une decharge electrique silencieuse, a temperature cryogenique. Le rendement en disilane a augmente de cinquante cinq a quatre-vingt-dix pour cent en optimisant des parametres electriques, telles que la frequence d'excitation du plasma et la puissance injectee, des parametres geometriques telle que la longueur de l'electrode et des parametres d'essai telles que la pression, la temperature et la duree de l'ionisation. Le depot adherent de silicium amorphe hydrogene occasionne lors de la synthese a ete diminue et la pollution due aux particules a disparu. L'amorcage et le maintien d'un plasma d'helium et d'un plasma silane-helium ont ete etudies et les fortes tensions de claquage pour les melanges silane-helium ont ete expliquees. La conception d'un reacteur en pyrex a permi l'analyse in situ du plasma d'helium et de silane et nous avons pu mettre en uvre une methode d'analyse par spectroscopie optique, mettant en evidence la presence d'ions metastables de l'helium et de l'espece transitoire sih. Enfin, les particules collees sur le depot ont ete caracterisees


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Informations

  • Détails : 150 P.
  • Annexes : 74 REF.

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