La thermoreflectivite du silicium oxyde ; application a la mesure de temperature a la surface d'un thyristor gto en commutation

par RIDHA ABID

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de F. MISEREY.

Soutenue en 1994

à CNAM .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Le fonctionnement des composants bipolaires de puissance (thyristors gto et transistors) est confronte au probleme de leur echauffement, qui est susceptible de modifier leurs caracteristiques electriques et parfois d'entrainer leur destruction: la temperature peut atteindre plusieurs centaines de degre celsius dans des zones caracterisees par des dimensions de l'ordre de quelques dizaines de micrometres. Une technique de mesure sans contact de la temperature dans des zones de dimensions micrometriques a la surface de composants de puissance en commutation a ete developpee. Le phenomene physique utilise est la thermoreflectivite: variation de la reflectivite du silicium causee par une variation de sa temperature. Le travail presente comprend: 1) l'etude theorique et experimentale de la thermoreflectivite du silicium oxyde ; 2) la conception, la realisation et la mise en uvre d'un thermoreflectometre a grande resolution spatiale. Cet appareil est destine a mesurer sans contact la temperature dans des regions de tres faibles dimensions (typiquement 20 m) du silicium oxyde recouvrant partiellement la surface des composants de puissance en commutation. La variation t(e) de la temperature t en fonction de l'energie e dissipee a chaque commutation (dans l'intervalle 1 mj < e < 25 mj) a ete etudiee en plusieurs endroits de la surface d'un thyristor gto en fonctionnement au voisinage immediat, de part et d'autre, de la jonction gachette-cathode du composant. Nous avons trouve que la variation t(e), dans ce domaine d'energie, est lineaire pour toutes les zones explorees, avec des pointes de temperatures allant de 100c a 350c, l'echauffement etant plus important du cote cathode de la jonction que du cote gachette


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  • Détails : 162 P.
  • Annexes : 52 REF.

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  • Bibliothèque : Conservatoire national des arts et métiers (Paris). Bibliothèque Centrale.
  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : Th A 199
  • Bibliothèque : Conservatoire national des arts et métiers (Paris). Bibliothèque Centrale.
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  • Cote : Th A 199 double
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