Développement d'un interféromètre laser très haute résolution pour la caractérisation de composants microélectroniques

par Stefan Dilhaire

Thèse de doctorat en Électronique

Sous la direction de WILFRID CLAEYS.

Soutenue en 1994

à Bordeaux 1 .

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  • Résumé

    Nous presentons une nouvelle approche de l'etude des composants microelectroniques au travers des ondes thermoelastiques engendrees par le passage du courant. Dans le cadre de cette approche, nous avons developpe un interferometre tres haute resolution (5 femtometres) pour l'etude de ces ondes. Nous etudions leurs proprietes ainsi que leur origine au travers des phenomenes thermoelectriques. Nous demontrons les performances de l'interferometre a l'aide d'un ensemble de mesures faites sur un composant test. Nous presentons des methodologies originales de caracterisation de composants utilisant l'interferometre. Nous montrons comment la microscopie thermoelastique que nous developpons ouvre des perspectives nouvelles dans le domaine de l'imagerie en microelectronique

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  • Détails : 208 p

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  • Bibliothèque : Université de Bordeaux. Direction de la Documentation. Bibliothèque Sciences et Techniques.
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  • Cote : FT 94.B-1103
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  • Cote : FTR 94.B-1103
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