Étude des propriétés mécaniques des films minces : Application au silicium monocristallins

par Éric Bonnotte

Thèse de doctorat en Sciences pour l'ingénieur

Sous la direction de Patrick Delobelle et de Daniel Hauden.


  • Résumé

    L'objectif de l'étude est la détermination des propriétés mécaniques des matériaux en faible épaisseur ou films minces. L'essai présenté ici est le bulbing (gonflement de plaques). Après avoir exposé les principales méthodes d'investigation des films mince, on explicite les lois de comportement d'une plaque soumise à une pression hydrostatique en envisageant diverses conditions aux limites. Une description de la machine d'essai conçue et réalisée est ensuite proposée. L'essai de bulbing permet de remonter au module biaxal Y dans le cas de matériaux isotropes. Si le matériau est anisotrope, on définit des coefficients Ex et Vx pour la direction x considérée. Le problème de l'extensométrie est abordé et on expose les deux méthodes optiques mises en oeuvre pour mesurer les déplacements : l'interférométrie holographique et la projection de franges, associées à l'interférométrie par mesure de phase, qui permet d'analyser le déplacement hors-p^lan de l'ensemble des points de la surface de l'échantillon. Ces techniques sont utllisées respectivement dans le cas des faibles flèches avec une précision de l'ordre de la longueur d'onde du laser sur 50 (Lambda/50) et dans le cas des grandes flèches avec une précision de 1,5 % environ. . .


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Informations

  • Détails : 1 vol (248 p.)
  • Annexes : bibliogr. en fin de chapitre

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Bibliothèque universitaire Sciences - Sport (Besançon).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : SCI.BESA.1994.123
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