Depot chimique de tungstene a partir de la phase gazeuse hexafluorure de tungstene-silane-hydrogene en vue d'application en connectique

par THIERRY CHARRIER

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de A. BOUTEVILLE.

Soutenue en 1994

à Angers .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    L'accroissement de la densite d'integration des composants electroniques, engendre un certain nombre de contraintes qui se traduisent par une evolution des technologies. Le passage aux circuits multiniveaux entraine l'utilisation de dielectriques organiques (dont la stabilite thermique est limitee) et necessite la mise en place de piliers assurant la connexion electrique des differents niveaux. La metallisation de tels piliers montre les limitations des techniques conventionnelles. Le procede de depot par reaction chimique en phase gazeuse a basse pression, par son aspect selectif permet de supprimer plusieurs etapes de photolithographie et de gravure toujours generatrices de risques de defauts dans les dispositifs. L'utilisation du silane comme reducteur de l'hexfluorure de tungstene, en augmentant tres notablement la vitesse de depot, rend possible le remplissage des piliers dont la profondeur peut atteindre et depasser le micron, en un temps relativement court. Dans ce memoire, le procede d'elaboration est etudie et optimise par correlation des parametres experimentaux et des caracterisations des depots obtenus. Notamment, ce travail montre la possibilite d'obtenir avec une selectivite convenable des depots de tungstene de faible resistivite avec des vitesses superieures au micron par minute a une temperature inferieure a 400c


  • Pas de résumé disponible.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 132 P.
  • Annexes : 110 REF.

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université d'Angers. Service commun de la documentation. Section Lettres - Sciences.
  • Accessible pour le PEB
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.