TY - THES DP - http://www.theses.fr/1994AIX22027 TI - Epitaxie par jets chimiques du silicium et du disiliciure de fer sur silicium AU - Natoli, Jean-Yves A3 - Derrien, Jacques PY - 1994 SP - 1 vol. ( 121 f.) N1 - Thèse de doctorat Sciences des matériaux Aix-Marseille 2 1994 N1 - 1994AIX22027 ER -